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一种多晶硅片去油墨用夹具
Abstract:
本发明公开了一种多晶硅片去油墨用夹具,包括第一固定板、第二固定板和活动板,所述第一固定板与第二固定板之间通过两根导轨固定连接,所述第一固定板与第二固定板相对设置且相互平行,两根所述导轨垂直于第一固定板和第二固定板,且两根导轨相互平行,所述导轨上插设有活动板和若干个金属波纹网。本发明将硅片码放于两根导轨之间时,导轨能够托起硅片,操作简单快捷;相邻硅片之间通过波浪形的金属波纹网分隔,既使得夹具上能够一次性固定多片多晶硅片,又保证每片硅片两面均能够与氢氧化钠充分接触,提高去油墨的效率和质量,活动板在气缸的作用下可以在导轨上滑动,可固定任意数量的硅片,灵活性强。
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