知搜-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册
发明公开
CN108701642A 用于高温工艺的基板支撑组件 审中-实审

  • 专利标题： 用于高温工艺的基板支撑组件
  • 专利标题（英）： SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY FOR HIGH TEMPERATURE PROCESSES
  • 申请号： CN201780014952.0
    申请日： 2017-01-23
  • 公开(公告)号： CN108701642A
    公开(公告)日： 2018-10-23
  • 发明人: V·D·帕科
  • 申请人： 应用材料公司
  • 申请人地址： 美国加利福尼亚州
  • 专利权人： 应用材料公司
  • 当前专利权人： 应用材料公司
  • 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
  • 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
  • 代理商 杨学春; 侯颖媖
  • 优先权： 15/061,734 20160304 US
  • 国际申请： PCT/US2017/014531 2017.01.23
  • 国际公布： WO2017/151238 EN 2017.09.08
  • 进入国家日期： 2018-09-03
  • 主分类号： H01L21/683
  • IPC分类号： H01L21/683 ;  H01L21/67
用于高温工艺的基板支撑组件
摘要：
一种静电吸盘包含：陶瓷主体，具有顶部及底部；一或多个加热元件，设置于陶瓷主体中；以及一或多个电极，设置于陶瓷主体中。所述静电吸盘进一步包含多个物件，该多个物件通过金属接合物接合至陶瓷主体的底部，其中多个物件全体包含多个特征，该多个特征分布在陶瓷主体的底部上从由陶瓷主体的底部限定的圆的中心开始的多个不同距离处，且其中该多个特征中的特征容置紧固件。
摘要（英）：

An electrostatic chuck comprises a ceramic body having a top and a bottom, one or more heating elements disposed in the ceramic body, and one or more electrodes disposed in the ceramic body. The electrostatic chuck further comprises a plurality of objects bonded to the bottom of the ceramic body by a metal bond, wherein collectively the plurality of objects comprise a plurality of features distributed over the bottom of the ceramic body at a plurality of different distances from a center of a circle defined by the bottom of the ceramic body, and wherein a feature of the plurality of features accommodates a fastener.

公开/授权文献
0/0