- 专利标题: 一种太赫兹量子级联激光器双面金属键合的方法
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申请号: CN201810369450.6申请日: 2018-04-23
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公开(公告)号: CN108631149B公开(公告)日: 2019-10-25
- 发明人: 李媛媛 , 梁平 , 胡颖 , 刘俊岐 , 翟慎强 , 张锦川 , 卓宁 , 王利军 , 刘舒曼 , 刘峰奇 , 王占国
- 申请人: 中国科学院半导体研究所 , 中国科学院大学
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所,中国科学院大学
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所,中国科学院大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 崔亚松
- 主分类号: H01S5/02
- IPC分类号: H01S5/02 ; H01S5/323
摘要:
一种太赫兹量子级联激光器双面金属键合的方法,该方法包括外延片和高掺衬底片晶向对准工艺,低温金属键合工艺、半绝缘衬底腐蚀工艺等,最终成功将生长在半绝缘衬底片上的外延结构层转移到另一个高掺杂的衬底片上。本发明的方法可以保证两个键合片之间的晶向一致性,防止激光器在解理过程中由晶向各异性带来的机械损伤;并且可以防止由于腐蚀液选择性不够带来的腐蚀不均匀及过腐蚀的问题,保证腐蚀的均匀性及完整性。本发明的方法符合标准半导体工艺流程,操作简便高效,适于工业化量产。
公开/授权文献
- CN108631149A 一种太赫兹量子级联激光器双面金属键合的方法 公开/授权日:2018-10-09