一种用于磨削单晶金刚石微刀刃的微型设备及方法
摘要:
本发明公开了一种用于磨削单晶金刚石微刀刃的微型设备,包括工件进给装置和轴套轴传动进给装置,所述工件进给装置包括夹具以及带动所述夹具沿横向、纵向运动的驱动装置,待加工单晶金刚石夹持在所述夹具上;所述轴套轴传动进给装置包括箱体、微型砂轮以及设置在箱体内的行星齿轮传动系统。本发明还公开了一种利用如上所述的用于磨削单晶金刚石微刀刃的微型设备磨削单晶金刚石微刀刃的方法,该方法通过激光定位装置确定晶面的易磨方向,并将检测到的信息实时传输至控制系统,由所述控制系统控制工件进给装置和轴套轴传动进给装置的动作,实现对微刀刃的磨削。利用本发明能够实现对单晶金刚石刀具微刀刃的微纳米级别的超精密磨削。
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