用于超(跳跃)通孔整合的金属互连
Abstract:
本发明涉及用于超(跳跃)通孔整合的金属互连,其关于半导体结构,且更尤指用于超(跳跃)通孔整合的金属互连结构及制造方法。该结构包括:具有一或多个布线结构的第一布线层;包括互连件与布线结构的第二布线层;以及于第二布线层上面定位有一或多个通孔互连件与布线结构的至少一个上布线层。一或多个通孔互连件与布线结构部分地包括第一金属材料、及第一金属材料上方具有导电材料的其余部分。跳跃通孔通过第二布线层,并延展至第一布线层的一或多个布线结构。跳跃通孔部分地包括金属材料,且该跳跃通孔的其余部分包括位在第一金属材料上方的导电材料。
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