发明授权
- 专利标题： 铜和铜合金表面用蚀刻溶液
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申请号： CN201680075357.3申请日： 2016-12-14
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公开(公告)号： CN108431301B公开(公告)日： 2020-12-08
- 发明人: 法比安·米哈利克 , 诺贝特·吕措 , 加布里埃拉·施密特 , 约瑟夫·盖达 , 托马斯·许尔斯曼
- 申请人： 埃托特克德国有限公司
- 申请人地址： 德国柏林
- 专利权人： 埃托特克德国有限公司
- 当前专利权人： 埃托特克德国有限公司
- 当前专利权人地址： 德国柏林
- 代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 郭国清; 穆德骏
- 优先权： 15202285.1 20151223 EP
- 国际申请： PCT/EP2016/080916 2016.12.14
- 国际公布： WO2017/108513 EN 2017.06.29
- 进入国家日期： 2018-06-21
- 主分类号： C23F1/02
- IPC分类号： C23F1/02 ; C23F1/18 ; H01L21/306 ; H05K3/38
摘要：
提供了一种铜和铜合金表面用水性蚀刻溶液及其使用方法，所述水性蚀刻溶液包含至少一种酸、至少一种适合于铜氧化的氧化剂、至少一种卤素离子源以及至少一种含有至少一种根据式(I)的聚合物部分的聚酰胺，其中每个a彼此独立地选自2和3；每个b是范围从5至10000的彼此独立的整数；每个R1是彼此独立地选自取代或未取代的C1‑C8烷基基团的单价残基。这样的蚀刻溶液对于保持经处理的铜和铜合金线的形状特别有用。
公开/授权文献
- CN108431301A 铜和铜合金表面用蚀刻溶液 公开/授权日：2018-08-21
IPC分类:
