发明授权
- 专利标题: 光束照射装置
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申请号: CN201680073037.4申请日: 2016-12-07
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公开(公告)号: CN108369335B公开(公告)日: 2020-10-09
- 发明人: 松井克宜 , 丰田晴义 , 宅见宗则 , 铃木一隆 , 中村和浩
- 申请人: 浜松光子学株式会社
- 申请人地址: 日本静冈县
- 专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本静冈县
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦
- 优先权: 2015-243079 2015.12.14 JP
- 国际申请: PCT/JP2016/086407 2016.12.07
- 国际公布: WO2017/104510 JA 2017.06.22
- 进入国家日期: 2018-06-13
- 主分类号: G02B26/08
- IPC分类号: G02B26/08 ; G02B26/10 ; G03F7/20
摘要:
光束照射装置(10)具备:光源部(1),输出光束(L);光偏向部(2),具有反射镜(21)和接受驱动信号的供给而使反射镜(21)摇动的驱动部(24)且以反射镜(21)接受从光源部(1)输出的光束(L)并进行反射;光偏向角度检测部(3),具有接受由反射镜(21)反射的光束(L)的受光面(33a)并以光偏向部(2)的谐振频率的4倍以上的频率检测受光面(33a)上的光束(L)的位置并且输出表示该位置的检测信号;及动作控制部(4),以该检测信号为基础来修正驱动信号并且将该修正了的驱动信号输出到光偏向部(2)。
公开/授权文献
- CN108369335A 光束照射装置 公开/授权日:2018-08-03