一种CVD法碳化硅涂层的制备方法
摘要:
本发明公开一种CVD法碳化硅涂层的制备方法,包括以下步骤:(1)启动沉积炉的加温箱,使温度达到100‑160℃;(2)将石墨基体放入沉积炉内的转盘上,然后带动石墨基体旋转;(3)对沉积炉内抽真空,再充入氩气;如此循环多次;(4)启动炉腔加热系统,对沉积炉内进行加热,同时对沉积炉内进行抽真空,达到沉积温度后,保温一定时间,再充入氩气,使沉积炉内的压力达到40‑60Kpa,再抽真空;(5)将氢气、氩气以及烷烃通入加温箱中,并通入液态氯硅烷,进而将带有氯硅烷的混合气体通入到沉积炉内;(6)沉积完,停止输送氢气、氯硅烷以及烷烃,保持氩气的输送,对沉积炉进行冲洗和降温,然后充气,打开炉体,取出带有碳化硅涂层的石墨工件。
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