发明授权
- 专利标题: 一种CVD法碳化硅涂层的制备方法
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申请号: CN201810213134.X申请日: 2018-03-14
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公开(公告)号: CN108359958B公开(公告)日: 2020-01-07
- 发明人: 林培英 , 李啸 , 黄洪福 , 朱佰喜
- 申请人: 深圳市志橙半导体材料有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区南山街道南山大道康乐大厦福海阁10F
- 专利权人: 深圳市志橙半导体材料有限公司
- 当前专利权人: 深圳市志橙半导体材料股份有限公司
- 当前专利权人地址: 518000 广东省深圳市宝安区松岗街道潭头社区健仓科技研发厂区办公楼307
- 代理机构: 北京中和立达知识产权代理事务所
- 代理商 祝妍
- 主分类号: C23C16/32
- IPC分类号: C23C16/32
摘要:
本发明公开一种CVD法碳化硅涂层的制备方法,包括以下步骤:(1)启动沉积炉的加温箱,使温度达到100‑160℃;(2)将石墨基体放入沉积炉内的转盘上,然后带动石墨基体旋转;(3)对沉积炉内抽真空,再充入氩气;如此循环多次;(4)启动炉腔加热系统,对沉积炉内进行加热,同时对沉积炉内进行抽真空,达到沉积温度后,保温一定时间,再充入氩气,使沉积炉内的压力达到40‑60Kpa,再抽真空;(5)将氢气、氩气以及烷烃通入加温箱中,并通入液态氯硅烷,进而将带有氯硅烷的混合气体通入到沉积炉内;(6)沉积完,停止输送氢气、氯硅烷以及烷烃,保持氩气的输送,对沉积炉进行冲洗和降温,然后充气,打开炉体,取出带有碳化硅涂层的石墨工件。
公开/授权文献
- CN108359958A 一种CVD法碳化硅涂层的制备方法 公开/授权日:2018-08-03
IPC分类: