一种平面矩形磁控溅射阴极镀膜均匀性调整装置及方法
摘要:
本发明提供的平面矩形磁控溅射阴极镀膜均匀性调整装置及方法,在溅射阴极和工件盘之间增加具有孔阵列的挡板,孔阵列在不同位置设置不同的孔径,改变一定等离子体刻蚀速率时的有效沉积面积,达到对等离子体在工件表面投影面积大小的精确控制,能快速、精确的实现磁控溅射膜厚均匀性的修正,实现对沉积区域膜厚均匀性的调整。
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