- 专利标题: 一种平面矩形磁控溅射阴极镀膜均匀性调整装置及方法
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申请号: CN201810110030.6申请日: 2018-02-05
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公开(公告)号: CN108315702B公开(公告)日: 2020-01-10
- 发明人: 刘海 , 高劲松 , 王笑夷 , 刘震
- 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址: 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 代理机构: 深圳市科进知识产权代理事务所
- 代理商 赵勍毅
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/54
摘要:
本发明提供的平面矩形磁控溅射阴极镀膜均匀性调整装置及方法,在溅射阴极和工件盘之间增加具有孔阵列的挡板,孔阵列在不同位置设置不同的孔径,改变一定等离子体刻蚀速率时的有效沉积面积,达到对等离子体在工件表面投影面积大小的精确控制,能快速、精确的实现磁控溅射膜厚均匀性的修正,实现对沉积区域膜厚均匀性的调整。
公开/授权文献
- CN108315702A 一种平面矩形磁控溅射阴极镀膜均匀性调整装置及方法 公开/授权日:2018-07-24
IPC分类: