本发明公开了一种应用于引信的微尺度MEMS能量疏导器件及其制备方法。本发明采用在绝缘衬底上设置一对放电极板，距离为1μm～8μm，封装在封装壳中，在一对放电极板上形成空气的流体介质，一对放电极板并联在火工品的两端；火工品在正常状态下，一对放电极板不导通，在火工品的两端为断路；当火工品上具有干扰的高脉冲的静电电压时，击穿空气的流体介质，使得一对放电极板导通，火工品短路，从而将干扰的高脉冲的静电电压疏导到MEMS能量疏导器件上，保证火工品的安全；本发明体积小、功耗低、成本低；本发明突破器件本身尺寸效应，可以实现在较低能量输入(也会造成被保护器件误触发)的情况下，结构击穿从而实现静电能量的疏导。