- 专利标题: 一种应用于引信的微尺度MEMS能量疏导器件及其制备方法
- 专利标题(英): Micro-scale MEMS energy dredging device applied to fuze and preparation method thereof
-
申请号: CN201810021536.X申请日: 2018-01-10
-
公开(公告)号: CN108238582A公开(公告)日: 2018-07-03
- 发明人: 娄文忠 , 冯恒振 , 廖茂浩 , 丁旭冉
- 申请人: 北京理工大学
- 申请人地址: 北京市海淀区中关村南大街5号
- 专利权人: 北京理工大学
- 当前专利权人: 北京理工大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区中关村南大街5号
- 代理机构: 北京万象新悦知识产权代理事务所
- 代理商 王岩
- 主分类号: B81B7/02
- IPC分类号: B81B7/02 ; B81C1/00
摘要:
本发明公开了一种应用于引信的微尺度MEMS能量疏导器件及其制备方法。本发明采用在绝缘衬底上设置一对放电极板,距离为1μm~8μm,封装在封装壳中,在一对放电极板上形成空气的流体介质,一对放电极板并联在火工品的两端;火工品在正常状态下,一对放电极板不导通,在火工品的两端为断路;当火工品上具有干扰的高脉冲的静电电压时,击穿空气的流体介质,使得一对放电极板导通,火工品短路,从而将干扰的高脉冲的静电电压疏导到MEMS能量疏导器件上,保证火工品的安全;本发明体积小、功耗低、成本低;本发明突破器件本身尺寸效应,可以实现在较低能量输入(也会造成被保护器件误触发)的情况下,结构击穿从而实现静电能量的疏导。
公开/授权文献
- CN108238582B 一种应用于引信的微尺度MEMS能量疏导器件及其制备方法 公开/授权日:2020-07-10