用于芯片制造的光阻基板及芯片封装体
摘要:
本发明公开一种用于芯片制造的光阻基板及芯片封装体。所述光阻基板包括采用正向光阻形成的正向光阻层,所述正向光阻层上划分有多个小单元,所述多个小单元呈阵列排布,每一所述小单元用于包裹一颗芯片组件,其中,所述正向光阻层的位于相邻所述芯片组件之间的区域为可曝光及显影区域。基于此,本发明只需要对正向光阻层进行曝光处理及显影处理,相邻芯片之间的连接部分即可被去除,无需切割工艺即可实现各芯片之间的分离,有助于提升产品良率。
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