Invention Publication
- Patent Title: 中介层的制造方法
- Patent Title (English): Interposer manufacturing method
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Application No.: CN201711225182.2Application Date: 2017-11-29
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Publication No.: CN108231569APublication Date: 2018-06-29
- Inventor: 铃木克彦
- Applicant: 株式会社迪思科
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 株式会社迪思科
- Current Assignee: 株式会社迪思科
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京三友知识产权代理有限公司
- Agent 于靖帅; 乔婉
- Priority: 2016-242235 20161214 JP
- Main IPC: H01L21/304
- IPC: H01L21/304

Abstract:
提供中介层的制造方法,能够提高使用了玻璃基板的中介层的耐热性。一种中介层的制造方法,从材料基板制造出多个中介层,该材料基板具有玻璃基板和层叠体,其中,该玻璃基板被呈格子状设定的多条分割预定线划分成多个区域,该层叠体层叠在该玻璃基板的第1面或与该第1面相反的一侧的第2面上,并且该层叠体包含绝缘层和配线层,该中介层的制造方法的特征在于,包含如下的工序:切削槽形成工序,使第1切削刀具沿着分割预定线切入层叠体的露出面,在层叠体中形成未到达玻璃基板的深度的切削槽;以及分割工序,使宽度比切削槽窄的第2切削刀具沿着切削槽切入玻璃基板,对玻璃基板进行分割而制造出多个中介层。
Public/Granted literature
- CN108231569B 中介层的制造方法 Public/Granted day:2023-01-10
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IPC分类: