发明授权
- 专利标题: 一种曲面工件超精密抛光方法
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申请号: CN201810050346.0申请日: 2018-01-18
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公开(公告)号: CN108177029B公开(公告)日: 2020-01-14
- 发明人: 蒋秋菊
- 申请人: 深圳市佳欣纳米科技有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市龙华区观澜街道牛湖社区凌屋居民小组A6号厂房3101
- 专利权人: 深圳市佳欣纳米科技有限公司
- 当前专利权人: 深圳中机新材料有限公司
- 当前专利权人地址: 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区粤兴三道8号中国地质大学产学研基地中地大楼C610
- 代理机构: 深圳市中科创为专利代理有限公司
- 代理商 谭雪婷; 彭西洋
- 主分类号: B24B1/00
- IPC分类号: B24B1/00 ; B24B35/00
摘要:
本发明涉及一种曲面工件超精密抛光方法,涉及超精密加工领域。一种曲面工件超精密抛光方法,所述方法为:室温下,将工件先后置于抛光液I和II中,并控制抛光液以一定流速流经工件的待抛光面,持续处理至少5min,所述抛光液I和II按质量百分比,包括1~25%的磨料和75~99%的基液;所述抛光液I所用磨料为氧化铝晶须、SiC晶须、ZnO晶须、碳纤维;所述抛光液II所用磨料为平均粒径为0.5~50微米的超硬材料颗粒。利用上方法可以有效去除材料表面不同程度的凸起,获得好的抛光效果。
公开/授权文献
- CN108177029A 一种曲面工件超精密抛光方法 公开/授权日:2018-06-19