发明授权
- 专利标题: 弹性波装置
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申请号: CN201680059542.3申请日: 2016-08-08
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公开(公告)号: CN108141198B公开(公告)日: 2022-04-29
- 发明人: 三村昌和
- 申请人: 株式会社村田制作所
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 株式会社村田制作所
- 当前专利权人: 株式会社村田制作所
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 赵琳琳
- 优先权: 2015-208924 20151023 JP
- 国际申请: PCT/JP2016/073303 2016.08.08
- 国际公布: WO2017/068835 JA 2017.04.27
- 进入国家日期: 2018-04-11
- 主分类号: H03H9/25
- IPC分类号: H03H9/25 ; H03H9/145 ; H03H9/64
摘要:
本发明提供一种即使在频率调整膜的膜厚发生了变化的情况下也不易产生SH波杂散的大小的变动的弹性波装置。弹性波装置(1)在LiNbO3基板(2)上设置有IDT电极(3)、电介质膜(6)以及频率调整膜(7)。LiNbO3基板(2)的欧拉角为(0°±5°的范围内,θ±1.5°的范围内,0°±10°的范围内),IDT电极(3)具有主电极,在将主电极的用由IDT电极(3)的电极指间距决定的波长λ进行标准化而成的膜厚设为T并将主电极的材料与Pt的密度比设为r时,主电极的膜厚T和欧拉角的θ满足式(1)。式(1):θ=‑0.05°/(T/r‑0.04)+31.35°。
公开/授权文献
- CN108141198A 弹性波装置 公开/授权日:2018-06-08