弹性波装置
摘要:
本发明提供一种即使在频率调整膜的膜厚发生了变化的情况下也不易产生SH波杂散的大小的变动的弹性波装置。弹性波装置(1)在LiNbO3基板(2)上设置有IDT电极(3)、电介质膜(6)以及频率调整膜(7)。LiNbO3基板(2)的欧拉角为(0°±5°的范围内,θ±1.5°的范围内,0°±10°的范围内),IDT电极(3)具有主电极,在将主电极的用由IDT电极(3)的电极指间距决定的波长λ进行标准化而成的膜厚设为T并将主电极的材料与Pt的密度比设为r时,主电极的膜厚T和欧拉角的θ满足式(1)。式(1):θ=‑0.05°/(T/r‑0.04)+31.35°。
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