发明授权
摘要：
本发明涉及光学元件、曝光装置以及物品的制造方法。提供有利于校正如具有多个拐点的复杂的变形的光学元件。光学元件(2)具备：反射镜(21)，具有设置有反射膜的光学面(21a)及与光学面(21a)相反的一侧的非光学面(21b)；以及多个校正膜(23)，设置于非光学面(21b)侧，用于校正反射镜(21)的形状。多个校正膜(23)在非光学面(21b)侧被分开设置于相互不同的多个区域。
公开/授权文献
- CN108089407A 光学元件、曝光装置以及物品的制造方法 公开/授权日：2018-05-29
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