• 专利标题: 用于处理基板的射频脉冲反射减量
  • 申请号: CN201680052937.0
    申请日: 2016-07-19
  • 公开(公告)号: CN108028166B
    公开(公告)日: 2020-02-18
  • 发明人: 川崎胜正
  • 申请人: 应用材料公司
  • 申请人地址: 美国加利福尼亚州
  • 专利权人: 应用材料公司
  • 当前专利权人: 应用材料公司
  • 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
  • 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
  • 代理商 杨学春; 侯颖媖
  • 优先权: 62/241,008 2015.10.13 US
  • 国际申请: PCT/US2016/042952 2016.07.19
  • 国际公布: WO2017/065855 EN 2017.04.20
  • 进入国家日期: 2018-03-13
  • 主分类号: H01J37/32
  • IPC分类号: H01J37/32 H05H1/46
用于处理基板的射频脉冲反射减量
摘要:
本文提供用于处理腔室中的RF脉冲反射减量的方法与系统。在一些实施例中,方法包括以下步骤:(a)在第一时间周期期间从多个RF产生器提供多个脉冲RF功率波形,(b)确定多个脉冲RF功率波形中的每一者的初始反射功率分布,(c)针对多个脉冲RF功率波形中的每一者,确定反射功率的最高水平,并控制匹配网络或RF产生器中的至少一者,以减少反射功率的最高水平,(d)确定多个脉冲RF功率波形中的每一者的经调整反射功率分布,以及(e)重复(c)与(d),直到多个脉冲RF功率波形中的每一者的经调整反射功率分布在阈值调谐范围中。
公开/授权文献
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