- 专利标题: 一种测试摆镜扫描速度和均匀性的装置及测试方法
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申请号: CN201711020913.X申请日: 2017-10-26
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公开(公告)号: CN107991506B公开(公告)日: 2019-11-29
- 发明人: 邱龙甲 , 王少飞 , 梁锡宁 , 陈晓梅 , 杜保林 , 郑国锋 , 付洁 , 李绍楠 , 杨旭
- 申请人: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
- 申请人地址: 河南省洛阳市凯旋西路25号
- 专利权人: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
- 当前专利权人: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
- 当前专利权人地址: 河南省洛阳市凯旋西路25号
- 代理机构: 西北工业大学专利中心
- 代理商 王鲜凯
- 主分类号: G01P3/38
- IPC分类号: G01P3/38
摘要:
本发明涉及一种测试摆镜扫描速度和均匀性的装置及测试方法,由空心圆柱固定架、CMOS相机、线激光器组和控制系统组成,利用被测量物——摆镜本身能够反射激光的特性,通过布置圆环型线激光器组,用CMOS相机和图像采集卡采集摆镜反射光线的数字图像信号,根据数字图像信号得到高精度的摆镜旋转角速度。其扫描均匀性测量精度可达到3×10‑5,较现有测试方法精度得到大幅提升。
公开/授权文献
- CN107991506A 一种测试摆镜扫描速度和均匀性的装置及测试方法 公开/授权日:2018-05-04
IPC分类: