一种测试摆镜扫描速度和均匀性的装置及测试方法
摘要:
本发明涉及一种测试摆镜扫描速度和均匀性的装置及测试方法,由空心圆柱固定架、CMOS相机、线激光器组和控制系统组成,利用被测量物——摆镜本身能够反射激光的特性,通过布置圆环型线激光器组,用CMOS相机和图像采集卡采集摆镜反射光线的数字图像信号,根据数字图像信号得到高精度的摆镜旋转角速度。其扫描均匀性测量精度可达到3×10‑5,较现有测试方法精度得到大幅提升。
0/0