发明授权
- 专利标题: 一种新型镀膜设备
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申请号: CN201711403120.6申请日: 2017-12-22
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公开(公告)号: CN107841721B公开(公告)日: 2019-05-10
- 发明人: 李峰
- 申请人: 江西邦盛光学仪器有限公司
- 申请人地址: 江西省上饶市经济技术开发区蓝江大道光
- 专利权人: 江西邦盛光学仪器有限公司
- 当前专利权人: 江西邦盛光学仪器有限公司
- 当前专利权人地址: 江西省上饶市经济技术开发区蓝江大道光
- 代理机构: 中山市捷凯专利商标代理事务所
- 代理商 杨连华
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/56 ; C23C14/50
摘要:
本发明公开了一种新型镀膜设备,包括底板,底板的顶面均匀固定有多个支撑柱体,支撑柱体的顶面固定有真空室,真空室的顶面对称固定有支撑板,支撑板的顶面固定有顶板,顶板的底面中部有电机,真空室的底面中部有T形盲孔A,T形盲孔A内旋转连接有圆形板块C,电机的驱动端固定连接有连杆,连杆的底端伸入真空室与圆形板块C相固定,连杆的外部套有滑动环形板,顶板的底面有千斤顶。本发明设计有相互啮合的齿轮和齿条,根据需要调整基片的镀膜面,便于溅射镀膜,并且仅需一次将真空室抽气为真空即可完成基片的多层镀膜,降低了成本的同时提高了镀膜质量,而且一次可以加工完成多个基片的镀膜,速度快,提高了生产效率,非常的实用、可靠。
公开/授权文献
- CN107841721A 一种新型镀膜设备 公开/授权日:2018-03-27
IPC分类: