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发明授权
一种新型镀膜设备有权转让

公开(公告)号：CN107841721B

公开(公告)日：2019-05-10

申请号：CN201711403120.6

申请日：2017-12-22

申请人： 江西邦盛光学仪器有限公司

发明人： 李峰

IPC分类号： C23C14/35 , C23C14/56 , C23C14/50

摘要： 本发明公开了一种新型镀膜设备，包括底板，底板的顶面均匀固定有多个支撑柱体，支撑柱体的顶面固定有真空室，真空室的顶面对称固定有支撑板，支撑板的顶面固定有顶板，顶板的底面中部有电机，真空室的底面中部有T形盲孔A，T形盲孔A内旋转连接有圆形板块C，电机的驱动端固定连接有连杆，连杆的底端伸入真空室与圆形板块C相固定，连杆的外部套有滑动环形板，顶板的底面有千斤顶。本发明设计有相互啮合的齿轮和齿条，根据需要调整基片的镀膜面，便于溅射镀膜，并且仅需一次将真空室抽气为真空即可完成基片的多层镀膜，降低了成本的同时提高了镀膜质量，而且一次可以加工完成多个基片的镀膜，速度快，提高了生产效率，非常的实用、可靠。