一种三轴电容式加速度计
摘要:
本发明公开了一种三轴电容式加速度计,可以通过第一类检测区域和第二类检测区域的位置判断i轴方向的加速度的方向;由于所有第一类检测区域的i轴电容检测电极的电容值根据质量块沿m轴或n轴的加速度的输入而变化的变化总量,与所有所述第二类检测区域的i轴电容检测电极的电容值根据质量块沿m轴或n轴的加速度的输入而变化的变化总量相同,对所有第一类检测区域的i轴电容检测电极的电容值之和与所有第二类检测区域的i轴电容检测电极的电容值之和求差值,以消除质量块沿m轴或n轴的加速度的输入对i轴方向加速度的影响,通过对该差值进行推导即可得出i轴方向的加速度大小,共享一个质量块有利于三轴电容式加速度计的轻薄化趋势。
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