发明授权
- 专利标题: 一种三轴电容式加速度计
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申请号: CN201610737371.7申请日: 2016-08-26
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公开(公告)号: CN107782913B公开(公告)日: 2022-02-22
- 发明人: 邹波 , 郑青龙 , 付世
- 申请人: 深迪半导体(绍兴)有限公司
- 申请人地址: 浙江省绍兴市柯桥区柯桥经济技术开发区柯北大道487号智能创新中心5号楼
- 专利权人: 深迪半导体(绍兴)有限公司
- 当前专利权人: 深迪半导体(绍兴)有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省绍兴市柯桥区柯桥经济技术开发区柯北大道487号智能创新中心5号楼
- 代理机构: 上海剑秋知识产权代理有限公司
- 代理商 杨飞
- 主分类号: G01P15/125
- IPC分类号: G01P15/125 ; G01P15/18
摘要:
本发明公开了一种三轴电容式加速度计,可以通过第一类检测区域和第二类检测区域的位置判断i轴方向的加速度的方向;由于所有第一类检测区域的i轴电容检测电极的电容值根据质量块沿m轴或n轴的加速度的输入而变化的变化总量,与所有所述第二类检测区域的i轴电容检测电极的电容值根据质量块沿m轴或n轴的加速度的输入而变化的变化总量相同,对所有第一类检测区域的i轴电容检测电极的电容值之和与所有第二类检测区域的i轴电容检测电极的电容值之和求差值,以消除质量块沿m轴或n轴的加速度的输入对i轴方向加速度的影响,通过对该差值进行推导即可得出i轴方向的加速度大小,共享一个质量块有利于三轴电容式加速度计的轻薄化趋势。
公开/授权文献
- CN107782913A 一种三轴电容式加速度计 公开/授权日:2018-03-09
IPC分类: