发明授权
- 专利标题: 一种纳米管存储器结构及其制备方法
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申请号: CN201610681644.0申请日: 2016-08-17
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公开(公告)号: CN107768381B公开(公告)日: 2021-11-09
- 发明人: 肖德元
- 申请人: 上海新昇半导体科技有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区泥城镇新城路2号24幢C1350室
- 专利权人: 上海新昇半导体科技有限公司
- 当前专利权人: 上海新昇半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区泥城镇新城路2号24幢C1350室
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 余明伟
- 主分类号: H01L27/1157
- IPC分类号: H01L27/1157 ; H01L27/11578 ; H01L27/11573
摘要:
本发明提供一种纳米管存储器结构及其制备方法,该结构包括:表面具有重掺杂外延层的半导体衬底;位于半导体衬底之上的第一隔离介电层、地选择栅电极层、字线栅电极层、串选择栅电极层、介于地选择栅电极层、字线栅电极层和串选择栅电极层之间的多层第二隔离介电层;贯穿地选择栅电极层、字线栅电极层和串选择栅电极层的半导体沟道;包裹在半导体沟道侧壁上的栅极介电层,所述半导体沟道为在所述重掺杂外延层上的半导体纳米管。本发明的存储器结构采用在重掺杂外延层上外延生长的半导体纳米管作为垂直沟道,相对于现有的垂直沟道型NAND结构,器件结构得到了进一步简化,制备工艺易于控制,产品良率高。
公开/授权文献
- CN107768381A 一种纳米管存储器结构及其制备方法 公开/授权日:2018-03-06
IPC分类: