发明公开
CN107723654A 一种粒状渗硼剂的再生方法及其装置
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种粒状渗硼剂的再生方法及其装置
- 专利标题(英): Regenerating method and device of granular boronizing agent
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申请号: CN201710713882.X申请日: 2017-08-18
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公开(公告)号: CN107723654A公开(公告)日: 2018-02-23
- 发明人: 李玉新 , 苏科强 , 白培康 , 李亮 , 刘斌 , 赵占勇
- 申请人: 中北大学
- 申请人地址: 山西省太原市尖草坪区学院路3号
- 专利权人: 中北大学
- 当前专利权人: 中北大学
- 当前专利权人地址: 山西省太原市尖草坪区学院路3号
- 代理机构: 太原高欣科创专利代理事务所
- 代理商 崔雪花
- 主分类号: C23C8/68
- IPC分类号: C23C8/68 ; C23C14/16 ; C23C14/22 ; C23C14/35
摘要:
本发明公开了一种粒状渗硼剂的再生方法及其装置,属于材料表面改性材料的回收再利用领域;技术方案为将预处理好的基体放在磁控溅射装备的阳极板上方,采用平面对靶的方式将高纯硅靶放置在阴极的铜背板上;通入氩气到真空室,对真空室和预处理好的基体进行清洗;之后调节电源电压、电流密度以及真空气压进行;本发明使再生后渗硼剂的渗硼效果达到原渗剂的渗层深度;是原来渗硼剂使用次数的3-5倍;镀膜后的渗剂与原材料的渗剂效果大致相同,渗层深度在120-130mm左右;节约了材料,达到循环绿色的经济效益。
IPC分类: