发明授权
- 专利标题: 用于使基材在结合之前对准的方法
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申请号: CN201680031184.5申请日: 2016-06-01
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公开(公告)号: CN107646139B公开(公告)日: 2022-04-19
- 发明人: V.德拉戈伊
- 申请人: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
- 申请人地址: 奥地利圣弗洛里安
- 专利权人: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
- 当前专利权人: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
- 当前专利权人地址: 奥地利圣弗洛里安
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 郭帆扬; 李雪莹
- 优先权: 102015108901.7 20150605 DE
- 国际申请: PCT/EP2016/062360 2016.06.01
- 国际公布: WO2016/193296 DE 2016.12.08
- 进入国家日期: 2017-11-28
- 主分类号: H01L21/68
- IPC分类号: H01L21/68 ; H01L21/67
摘要:
本发明涉及一种用于使具有至少两个第一对准标记的第一基材(7)与具有至少两个第二对准标记(8’)的第二基材(7’)对准的方法,其中,通过第一关联在X方向和在Y方向上使第一对准标记(8)关联于基材(7)的至少两个第一独特的对准特征(9),通过第二关联在X方向和在Y方向上使第二对准标记(8’)关联于第二基材(7’)的至少两个第二独特的对准特征(9’)并且通过对准借助于第一和第二独特的对准特征(9,9’)在X和Y方向上使第一(8)和第二对准标记(8’)彼此对准。此外,本发明设计一种对应的装置。
公开/授权文献
- CN107646139A 用于使基材在结合之前对准的方法 公开/授权日:2018-01-30
IPC分类: