一种抛光垫、聚氨酯抛光层及其制备方法
摘要:
一种抛光垫、聚氨酯抛光层及其制备方法,属于化学机械平面化处理的抛光技术领域。热膨胀系数为70‑200ppm/℃的聚氨酯抛光层含有由多成分反应生成的反应产物。多成分包括:异氰酸酯封端的预聚物,中空微孔聚合物,及固化剂组合物。固化剂组合物包含:5~55wt%脂肪族二元胺组合物、0~8wt%多元胺组合物、40~90wt%芳香族双官能组合物。聚氨酯抛光层密度为0.6~1.1g/cm3,邵氏硬度为45~70D,断裂伸长率为50~450%。所述聚氨酯抛光层的制备工艺简单、成本低、能耗小。由所述工艺制备的聚氨酯抛光层具有水解稳定性高、密度均一、去除率稳定等优点。
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