发明授权
- 专利标题: 三维存储器及其形成方法
-
申请号: CN201710751281.8申请日: 2017-08-28
-
公开(公告)号: CN107482013B公开(公告)日: 2018-09-18
- 发明人: 吕震宇 , 黄郁茹 , 陶谦 , 胡禺石 , 陈俊 , 戴晓望 , 朱继锋 , 李勇娜 , 宋立东
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 代理机构: 北京辰权知识产权代理有限公司
- 代理商 刘广达
- 主分类号: H01L27/11556
- IPC分类号: H01L27/11556 ; H01L27/11582
摘要:
本发明公开了一种三维存储器及其形成方法,属于半导体技术领域。所述方法包括:提供主体结构,主体结构包括衬底,形成于衬底上的叠层结构;在叠层结构上形成顶层选择门和沟道通孔,使每个顶层选择门对应预设列的沟道通孔;对沟道通孔进行填充形成立柱,至与叠层结构的上表面齐平;刻蚀叠层结构至露出立柱顶部,并对露出的立柱顶部进行修剪形成塞结构;形成覆盖塞结构的门极层,及覆盖门极层的第一氧化物层。本发明中的方法,形成的三维存储器的单位单元(Unit Cell)为8列交错排布的沟道通孔,缩小了占用面积,进而降低了晶片的尺寸需求,减小了三维存储器的体积及其制作成本。
公开/授权文献
- CN107482013A 三维存储器及其形成方法 公开/授权日:2017-12-15
IPC分类: