发明授权
CN107464586B 一种驱动力解耦的三自由度大行程微定位平台
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种驱动力解耦的三自由度大行程微定位平台
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申请号: CN201710706166.9申请日: 2017-08-17
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公开(公告)号: CN107464586B公开(公告)日: 2020-02-18
- 发明人: 霍至琛 , 王福军 , 梁存满 , 田延岭 , 张大卫
- 申请人: 天津大学
- 申请人地址: 天津市津南区海河教育园雅观路135号天津大学北洋园校区
- 专利权人: 天津大学
- 当前专利权人: 天津大学
- 当前专利权人地址: 天津市津南区海河教育园雅观路135号天津大学北洋园校区
- 代理机构: 天津市北洋有限责任专利代理事务所
- 代理商 程小艳
- 主分类号: G12B9/10
- IPC分类号: G12B9/10 ; G12B5/00
摘要:
本发明公开一种驱动力解耦的三自由度大行程微定位平台,包括微动平台基体,所述微动平台基体从下至上依次包括底板、中间部分以及顶层部分,所述中间部分的中央设置有两个传递梁:传递梁Ⅰ用于连接所述中间部分以及顶层部分的Y向两端的柔性铰链变形结构,传递梁Ⅱ用于连接所述中间部分以及顶层部分的X向两端的柔性铰链变形结构;所述顶层部分由外至内依次设置有柔性铰链变形结构、动平台以及输出平台,所述动平台中央设置有输出平台,所述输出平台两端分别通过杆杠放大机构连接有压电陶瓷驱动器。本发明柔性梁连接动平台的两个解耦部分,实现了驱动力的平均分配及解耦;采用两个音圈电机驱动,实现动平台在XY平面内高精度、大行程的运动。
公开/授权文献
- CN107464586A 一种驱动力解耦的三自由度大行程微定位平台 公开/授权日:2017-12-12