长行程、高精度测量的光栅位移测量方法
摘要:
本发明公开了一种长行程、高精度测量的光栅位移测量方法,包括如下步骤:双频激光器发出正交偏振的双频激光被分束棱镜和90°折转镜分为两束光,并分别入射到两偏振分光棱镜被两偏振分光棱镜分束为P光及S光;所述P光及S光经过四个四分之一波片后变为右旋圆偏振光及左旋圆偏振光;右旋和左旋圆偏振光分别经过两平面反射镜反射后,以利特罗角入射到测量光栅上;测量光栅移动,携带位移信息的衍射光按原路返回,分别经过四分之一波片后,分别变为S光及P光,经两偏振分光棱镜透射,重合在两偏振分光棱镜的出射面,经两个接收器接收。本发明可以实现精密位移测量,读数头结构紧凑、体积小、系统对环境敏感性低,大大降低了对测量环境的控制成本。
公开/授权文献
0/0