发明授权
- 专利标题: 长行程、高精度测量的光栅位移测量方法
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申请号: CN201710734790.X申请日: 2017-08-24
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公开(公告)号: CN107462167B公开(公告)日: 2019-11-05
- 发明人: 李文昊 , 吕强 , 巴音贺希格 , 宋莹 , 刘兆武 , 王玮
- 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址: 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 代理机构: 深圳市科进知识产权代理事务所
- 代理商 赵勍毅
- 主分类号: G01B11/02
- IPC分类号: G01B11/02
摘要:
本发明公开了一种长行程、高精度测量的光栅位移测量方法,包括如下步骤:双频激光器发出正交偏振的双频激光被分束棱镜和90°折转镜分为两束光,并分别入射到两偏振分光棱镜被两偏振分光棱镜分束为P光及S光;所述P光及S光经过四个四分之一波片后变为右旋圆偏振光及左旋圆偏振光;右旋和左旋圆偏振光分别经过两平面反射镜反射后,以利特罗角入射到测量光栅上;测量光栅移动,携带位移信息的衍射光按原路返回,分别经过四分之一波片后,分别变为S光及P光,经两偏振分光棱镜透射,重合在两偏振分光棱镜的出射面,经两个接收器接收。本发明可以实现精密位移测量,读数头结构紧凑、体积小、系统对环境敏感性低,大大降低了对测量环境的控制成本。
公开/授权文献
- CN107462167A 长行程、高精度测量的光栅位移测量方法 公开/授权日:2017-12-12