一种接力式快速取片、装片装置及其采用它的装片机
摘要:
本发明公开了一种接力式快速取片、装片装置及其采用它的装片机,第一转臂用于取出晶圆上的芯片,旋转后将芯片放置在中转台上;第二转臂用于取出中转台上的芯片,旋转后将芯片放置在基板上;焊头,用于取出芯片和放置芯片,焊头设置在第一转臂和第二转臂的一端,焊头沿平行于第一转臂或第二转臂的旋转轴线方向来回运动;驱动装置用于驱动第一转臂和/或第二转臂旋转。本发明有益效果:芯片中转台的设置,使得转臂的取片和装片可以同步进行,在需要远距离取装片时,相比于传统单转臂的取片装片方式效率提高50%‑‑70%,装片精度更高。
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