- 专利标题: 一种接力式快速取片、装片装置及其采用它的装片机
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申请号: CN201710604150.7申请日: 2017-07-21
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公开(公告)号: CN107248501B公开(公告)日: 2023-09-08
- 发明人: 王敕 , 戴泳雄
- 申请人: 苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市常熟经济技术开发区科创园102室
- 专利权人: 苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司
- 当前专利权人: 苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市常熟经济技术开发区科创园102室
- 代理机构: 苏州华博知识产权代理有限公司
- 代理商 黄珩
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/677
摘要:
本发明公开了一种接力式快速取片、装片装置及其采用它的装片机,第一转臂用于取出晶圆上的芯片,旋转后将芯片放置在中转台上;第二转臂用于取出中转台上的芯片,旋转后将芯片放置在基板上;焊头,用于取出芯片和放置芯片,焊头设置在第一转臂和第二转臂的一端,焊头沿平行于第一转臂或第二转臂的旋转轴线方向来回运动;驱动装置用于驱动第一转臂和/或第二转臂旋转。本发明有益效果:芯片中转台的设置,使得转臂的取片和装片可以同步进行,在需要远距离取装片时,相比于传统单转臂的取片装片方式效率提高50%‑‑70%,装片精度更高。
公开/授权文献
- CN107248501A 一种接力式快速取片、装片装置及其采用它的装片机 公开/授权日:2017-10-13
IPC分类: