铟氧化膜及钼膜用蚀刻组合物
摘要:
本发明提供一种蚀刻组合物,其作为铟氧化膜、钼膜、或铟氧化膜与钼膜的多层膜用蚀刻组合物,包含硝酸、环状胺化合物、含氟化合物和有机酸,且相对于组合物的总重量以0.1~5.0重量%的量包含上述有机酸。本发明的蚀刻组合物对于用作液晶显示装置用阵列基板的像素电极的铟氧化膜及钼膜的蚀刻性能优异,能够将对于下部金属的损伤最小化,且能够在蚀刻多层膜时抑制上部尖端产生,从而能够提高液晶显示装置的驱动特性。
公开/授权文献
0/0