发明授权
- 专利标题: 倾斜的激光诱导前向转换喷射
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申请号: CN201680006659.5申请日: 2016-01-05
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公开(公告)号: CN107206548B公开(公告)日: 2019-08-13
- 发明人: Z.科特勒 , M.泽努
- 申请人: 奥博泰克有限公司
- 申请人地址: 以色列亚夫内
- 专利权人: 奥博泰克有限公司
- 当前专利权人: 奥博泰克有限公司
- 当前专利权人地址: 以色列亚夫内
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 张邦帅
- 优先权: 62/105,761 2015.01.21 US
- 国际申请: PCT/IL2016/050007 2016.01.05
- 国际公布: WO2016/116921 EN 2016.07.28
- 进入国家日期: 2017-07-21
- 主分类号: C23C14/28
- IPC分类号: C23C14/28
摘要:
一种用于受体表面上的材料沉积的设备,包括:透明供体基板,具有相对的第一和第二表面,使得第二表面的至少一部分不平行于受体表面,所述透明供体基板还包括第二表面上的供体膜。该设备还光学组件,其配置成将辐射束引导成穿过供体基板的第一表面,并在第二表面的不平行于受体表面的那部分的位置处照射在供体膜上,以诱导熔融材料的小滴从供体膜喷射到受体表面。
公开/授权文献
- CN107206548A 倾斜的激光诱导前向转换喷射 公开/授权日:2017-09-26
IPC分类: