发明授权
- 专利标题： MEMS压力传感器
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申请号： CN201710423895.3申请日： 2017-06-07
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公开(公告)号： CN107144378B公开(公告)日： 2023-05-05
- 发明人: 湛邵斌 , 霍红颖 , 胡涛 , 高月芳 , 王新中
- 申请人： 深圳信息职业技术学院
- 申请人地址： 广东省深圳市龙岗区龙翔大道2188号
- 专利权人： 深圳信息职业技术学院
- 当前专利权人： 深圳信息职业技术学院
- 当前专利权人地址： 广东省深圳市龙岗区龙翔大道2188号
- 代理机构： 深圳中一专利商标事务所
- 代理商 官建红
- 主分类号： G01L1/14
- IPC分类号： G01L1/14 ; G01L9/10
摘要：
本发明涉及MEMS技术领域，提供了一种MEMS压力传感器。该MEMS压力传感器包括衬底，所述衬底中部设有上下贯通的空腔；薄膜，设于所述衬底上方且覆盖所述空腔；介质层，设于所述薄膜上方，所述介质层上设有电感线圈；固定电容，与所述电感线圈相连接。本发明提供的MEMS压力传感器，结构简单，灵敏度高，且电感线圈的电感值计算准确，测试方法简单，能够将压力信号转换为电信号，实现精准的压力测量。
公开/授权文献
- CN107144378A MEMS压力传感器 公开/授权日：2017-09-08
