- 专利标题: 铜、钼金属层叠膜蚀刻液组合物、使用该组合物的蚀刻方法及延长该组合物的寿命的方法
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申请号: CN201580056861.4申请日: 2015-11-17
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公开(公告)号: CN107075693B公开(公告)日: 2019-07-12
- 发明人: 高桥秀树 , 廖本男 , 李盈壕
- 申请人: 关东化学株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 关东化学株式会社
- 当前专利权人: 关东化学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 上海一平知识产权代理有限公司
- 代理商 崔佳佳; 马莉华
- 优先权: 2014-233913 2014.11.18 JP
- 国际申请: PCT/JP2015/082229 2015.11.17
- 国际公布: WO2016/080383 JA 2016.05.26
- 进入国家日期: 2017-04-19
- 主分类号: C23F1/18
- IPC分类号: C23F1/18 ; C23F1/26 ; C23F1/46
摘要:
本发明提供能够对包括由铜或以铜为主要成分的合金形成的层和由钼或以钼为主要成分的合金形成的层的金属层叠膜进行一次性蚀刻,且可防止钼层的底切,剖面形状的控制和根据剖面对组成浓度的调整容易的具有稳定性的蚀刻液组合物,还提供使用该组合物的蚀刻方法及延长该组合物的寿命的方法。本发明的蚀刻液组合物是用于对包括由铜或以铜为主要成分的合金形成的层和由钼或以钼为主要成分的合金形成的层的金属层叠膜进行一次性蚀刻的蚀刻液组合物,其中,含有过氧化氢、有机酸、胺化合物、唑类、过氧化氢稳定剂,但不含无机酸。
公开/授权文献
- CN107075693A 铜、钼金属层叠膜蚀刻液组合物、使用该组合物的蚀刻方法及延长该组合物的寿命的方法 公开/授权日:2017-08-18
IPC分类: