基于类金刚石薄膜的复合厚膜及其镀膜方法
摘要:
本发明揭示了基于类金刚石薄膜的复合厚膜及其镀膜方法,包括由基材表面向外依次形成的金属底层、过渡层及类金刚石层,过渡层是采用磁控溅射和增强型阴极电弧技术同时工作形成的两种膜层交错堆叠的混合物层,所述类金刚石层的厚度在1~10μm之间。本发明设计精巧,结构简单,通过使过渡层采用两种膜层交替堆叠的结构,充分发挥磁控溅射膜层的内应力小以及增强型阴极电弧膜层的硬度大的优点,实现过渡层硬度大和内应力小的有效结合,而硬度大和应力小都有助于实现类金刚石层厚度的增加,最终形成的复合厚膜的厚度达到20μm以上,并且可以有效缓冲厚膜功能层带来的巨大应力,从而保障复合厚膜与基材的结合力,同时能够有效降低复合厚膜的表面缺陷。
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