一种扇出型晶圆级封装结构及其制作方法
摘要:
本发明实施例公开了一种扇出型晶圆级封装结构及其制作方法,其中,所述扇出型晶圆级封装结构包括:封装体模块,该封装体模块包括自下而上依次堆叠的至少两个封装单元,封装单元包括至少一个封装芯片以及与该封装芯片电连接的第一重布线层,上下相邻的两个封装单元的重布线层通过模块内连接件电连接,且至少一个封装单元的重布线层延伸至封装体模块的至少一个侧面的边缘;信号互连模块,设置在封装体模块的至少一个侧面,信号互连模块与延伸至边缘的重布线层电连接;电源模块,设置在封装体模块的至少一个侧面,电源模块与延伸至边缘的重布线层电连接。本发明使得扇出型晶圆级封装结构的高堆叠系统级封装中堆叠顶层供电压力减缓,缩小了互连间距。
公开/授权文献
0/0