- 专利标题: 一种双面终端结构、逆导型半导体器件及其制备方法
- 专利标题(英): Double-sided terminal structure, reverse conducting semiconductor device and fabrication method of reverse conducting semiconductor device
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申请号: CN201611026227.9申请日: 2016-11-22
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公开(公告)号: CN106783984A公开(公告)日: 2017-05-31
- 发明人: 崔磊 , 潘艳 , 温家良 , 金锐 , 吴迪 , 徐哲 , 朱涛 , 和峰 , 高明超 , 赵哿 , 王耀华 , 刘江
- 申请人: 全球能源互联网研究院 , 国网上海市电力公司 , 国家电网公司
- 申请人地址: 北京市昌平区未来科技城北区国网智能电网研究院院内; ;
- 专利权人: 全球能源互联网研究院,国网上海市电力公司,国家电网公司
- 当前专利权人: 全球能源互联网研究院,国网上海市电力公司,国家电网公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区未来科技城北区国网智能电网研究院院内; ;
- 代理机构: 北京安博达知识产权代理有限公司
- 代理商 徐国文
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739 ; H01L29/06 ; H01L21/331
摘要:
本发明提供了一种双面终端结构、逆导型半导体器件及其制备方法,所述双面终端结构包括衬底、设置在衬底上表面的正面终端区和设置在衬底下表面的背面终端区,该背面终端区包括多个间断的第一导电离子掺杂区;所述逆导型半导体器件包括上述双面终端结构。与现有技术相比,本发明提供的一种双面终端结构、逆导型半导体器件及其制备方法,其终端结构可以在终端面积一定的情况下提高终端的整体耐压,提高终端结构的效率,其背面终端工艺与逆导型IGBT具有一定的兼容性。
公开/授权文献
- CN106783984B 一种双面终端结构、逆导型半导体器件及其制备方法 公开/授权日:2021-12-03
IPC分类: