发明公开
- 专利标题： 一种柔性互连金属的制备方法
- 专利标题（英）： Manufacturing method of flexible interconnected metal
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申请号： CN201611141945.0申请日： 2016-12-12
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公开(公告)号： CN106711085A公开(公告)日： 2017-05-24
- 发明人: 刘丽蓉 , 王勇 , 丁超
- 申请人： 东莞市广信知识产权服务有限公司 , 东莞华南设计创新院
- 申请人地址： 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区新竹路4号新竹苑13栋6楼607室;
- 专利权人： 东莞市广信知识产权服务有限公司,东莞华南设计创新院
- 当前专利权人： 扬州捷联特表面处理科技有限公司
- 当前专利权人地址： 225600 江苏省扬州市高邮经济开发区（马棚街道）波司登大道南侧3号扬州赛诺高德电子科技有限公司一楼101、二楼201
- 代理机构： 深圳市智圈知识产权代理事务所
- 代理商 韩绍君
- 主分类号： H01L21/768
- IPC分类号： H01L21/768
摘要：
本发明公布了一种柔性互连金属的制备方法，其步骤包括：第一步在基板上涂覆一层正胶，并进行光刻，光刻出凹凸不平的结构；第二步：溅射金属钛/金；第三步：在金属上涂覆AZ胶，光刻出互连金属线条；第四步：蒸发镍/金两层金属；第五步：剥离顶层光刻胶，形成有弯曲的互连金属。
公开/授权文献
- CN106711085B 一种柔性互连金属的制备方法 公开/授权日：2019-02-19
IPC分类:
