发明授权
- 专利标题: 单晶硅的制造方法及制造系统
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申请号: CN201580049467.8申请日: 2015-09-24
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公开(公告)号: CN106687624B公开(公告)日: 2019-05-28
- 发明人: 须藤俊明 , 佐藤忠广 , 北原江梨子 , 北原贤
- 申请人: 株式会社SUMCO
- 申请人地址: 日本东京都港区芝浦一丁目2番1号
- 专利权人: 株式会社SUMCO
- 当前专利权人: 胜高股份有限公司
- 当前专利权人地址: 日本东京都港区芝浦一丁目2番1号
- 代理机构: 北京鼎承知识产权代理有限公司
- 代理商 李伟波; 管莹
- 优先权: 2014-193252 2014.09.24 JP
- 国际申请: PCT/JP2015/076950 2015.09.24
- 国际公布: WO2016/047693 JA 2016.03.31
- 进入国家日期: 2017-03-17
- 主分类号: C30B15/00
- IPC分类号: C30B15/00 ; C30B29/06
摘要:
正确地掌握各个氧化硅玻璃坩埚的容积来事先预测氧化硅玻璃坩埚内的硅熔液的初期液位,据此可靠地进行晶种的着液工艺。在氧化硅玻璃坩埚内填充原料之前测量氧化硅玻璃坩埚的内表面上的多个点的空间坐标,根据将各测量点作为顶点坐标的多角形组合来特定氧化硅玻璃坩埚的内表面的三维形状(S11),预先设定氧化硅玻璃坩埚内的硅熔液的初期液位的预测值(S12),基于氧化硅玻璃坩埚的内表面的三维形状来求取满足初期液位的预测值硅熔液的体积(S13),求取具有所述体积的硅熔液的重量(S14),在氧化硅玻璃坩埚中填充具有所述重量的原料(S15),以及基于初期液位的预测值来控制晶种的着液(S17)。
公开/授权文献
- CN106687624A 单晶硅的制造方法及制造系统 公开/授权日:2017-05-17
IPC分类: