单晶硅的制造方法及制造系统
摘要:
正确地掌握各个氧化硅玻璃坩埚的容积来事先预测氧化硅玻璃坩埚内的硅熔液的初期液位,据此可靠地进行晶种的着液工艺。在氧化硅玻璃坩埚内填充原料之前测量氧化硅玻璃坩埚的内表面上的多个点的空间坐标,根据将各测量点作为顶点坐标的多角形组合来特定氧化硅玻璃坩埚的内表面的三维形状(S11),预先设定氧化硅玻璃坩埚内的硅熔液的初期液位的预测值(S12),基于氧化硅玻璃坩埚的内表面的三维形状来求取满足初期液位的预测值硅熔液的体积(S13),求取具有所述体积的硅熔液的重量(S14),在氧化硅玻璃坩埚中填充具有所述重量的原料(S15),以及基于初期液位的预测值来控制晶种的着液(S17)。
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