发明授权
- 专利标题: 载具的搬运系统以及搬运方法
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申请号: CN201580031896.2申请日: 2015-04-30
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公开(公告)号: CN106663649B公开(公告)日: 2019-05-21
- 发明人: 高井要
- 申请人: 村田机械株式会社
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 村田机械株式会社
- 当前专利权人: 村田机械株式会社
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 舒艳君; 田军锋
- 优先权: 2014-126013 2014.06.19 JP
- 国际申请: PCT/JP2015/062941 2015.04.30
- 国际公布: WO2015/194267 JA 2015.12.23
- 进入国家日期: 2016-12-14
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677
摘要:
本发明不在区间台车设置横向输送机构就可增加能够临时保管的载具的数量。利用桥式行驶车和区间台车在与处理装置的装载区之间搬运载具。桥式行驶车和区间台车都具备提升机,桥式行驶车还具备横向输送提升机的横向输送机构。以在装载区的正上部通过的方式配置有桥式行驶车的行驶轨道,区间台车的行驶轨道在桥式行驶车的行驶轨道的下方且在装载区的正上部设置。设有在区间台车的行驶轨道的正下方的前进位置与从区间台车的行驶轨道的正下方朝侧方远离的后退位置之间自由滑动的滑动缓冲区。为了进行载具的移载,在后退位置将滑动缓冲区的上方敞开。
公开/授权文献
- CN106663649A 载具的搬运系统以及搬运方法 公开/授权日:2017-05-10
IPC分类: