一种发光二极管外延片的生长方法
摘要:
本发明公开了一种发光二极管外延片的生长方法,属于半导体技术领域。所述生长方法包括:在衬底上依次生长低温缓冲层、高温缓冲层、N型GaN层、N型插入层、有源层、电子阻挡层、P型GaN层;N型GaN层的生长温度>N型插入层的生长温度>有源层的生长温度;N型插入层包括依次层叠的第一子层、第二子层和第三子层;第一子层为两种N型掺杂剂的掺杂浓度不同的GaN层交替层叠形成的超晶格结构,其N型掺杂剂的掺杂浓度小于N型GaN层中N型掺杂剂的掺杂浓度;第二子层为AlGaN层或者至少三层AlGaN层和至少三层GaN层交替层叠形成的超晶格结构;第三子层为InGaN层。本发明的N型插入层起到缓冲作用,有利于有源层生长。
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