发明公开
- 专利标题: 一种发光二极管外延片的生长方法
- 专利标题(英): Growing method for light-emitting diode epitaxial wafer
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申请号: CN201611118511.9申请日: 2016-12-07
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公开(公告)号: CN106611808A公开(公告)日: 2017-05-03
- 发明人: 姚振 , 从颖 , 胡加辉
- 申请人: 华灿光电(浙江)有限公司
- 申请人地址: 浙江省金华市义乌市苏溪镇徐丰村(浙江四达工具有限公司内)
- 专利权人: 华灿光电(浙江)有限公司
- 当前专利权人: 华灿光电(浙江)有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省金华市义乌市苏溪镇徐丰村(浙江四达工具有限公司内)
- 代理机构: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 徐立
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/12 ; H01L33/04 ; H01L33/14 ; H01L33/06
摘要:
本发明公开了一种发光二极管外延片的生长方法,属于半导体技术领域。所述生长方法包括:在衬底上依次生长低温缓冲层、高温缓冲层、N型GaN层、N型插入层、有源层、电子阻挡层、P型GaN层;N型GaN层的生长温度>N型插入层的生长温度>有源层的生长温度;N型插入层包括依次层叠的第一子层、第二子层和第三子层;第一子层为两种N型掺杂剂的掺杂浓度不同的GaN层交替层叠形成的超晶格结构,其N型掺杂剂的掺杂浓度小于N型GaN层中N型掺杂剂的掺杂浓度;第二子层为AlGaN层或者至少三层AlGaN层和至少三层GaN层交替层叠形成的超晶格结构;第三子层为InGaN层。本发明的N型插入层起到缓冲作用,有利于有源层生长。
公开/授权文献
- CN106611808B 一种发光二极管外延片的生长方法 公开/授权日:2019-03-01
IPC分类: