- 专利标题: 干涉仪用自动角度调节机构及其角度控制方法
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申请号: CN201611248171.1申请日: 2016-12-29
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公开(公告)号: CN106596052B公开(公告)日: 2019-12-06
- 发明人: 周其
- 申请人: 深圳市维度科技有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区桃源街道红花岭工业区闽利达工业园3楼北
- 专利权人: 深圳市维度科技有限公司
- 当前专利权人: 深圳市维度科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 518000 广东省深圳市南山区桃源街道福光社区留仙大道3370号南山智园崇文园区2号楼603
- 代理机构: 北京维正专利代理有限公司
- 代理商 郑兴旺
- 主分类号: G01M11/00
- IPC分类号: G01M11/00 ; G01B9/02
摘要:
一种干涉仪用自动角度调节机构及其角度控制方法,包括夹具平台,夹具平台上设有固定连接在夹具平台上的夹具立板座和转动连接在夹具平台上的夹具立板,夹具立板与夹具平台之间连接有用以驱动夹具立板向偏摆方向转动的弹性件,夹具平台上还连接有用以驱动夹具立板转动的驱动电机、用以采集夹具立板的转动角度的角度传感器、以及将采集到的转动角度与预输入的偏摆角度比较,形成对驱动电机的驱动行程进行反馈调节控制的控制系统,以自动化控制调节取代了现有的人工靠经验调节与校对,提高调节角度的效率,准确性。
公开/授权文献
- CN106596052A 干涉仪用自动角度调节机构及其角度控制方法 公开/授权日:2017-04-26