直写型曝光装置
Abstract:
直写型曝光装置(100)通过对由基材(B)保持的膜状的感光性树脂(PP)直接照射曝光光线(1b)来进行图案曝光,包括:输出曝光光线(1b)的光源(1);基台(2);能支承基材(B)的下表面周缘区域,且进行动作使基材(B)在曝光光线(1b)的光轴方向上移位的移位机构(4a~4d);以及能支承基材(B)的下表面中央区域的支承构件(7)。支承构件(7)配设在基台(2)的上方,以利用移位机构(4a~4d)使基材(B)移位,在支承构件(7)的上表面与基材(B)的下表面中央区域抵接的状态下,曝光光线(1b)的光轴与支承构件(7)的上表面垂直。
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