Invention Grant
- Patent Title: 直写型曝光装置
-
Application No.: CN201580039965.4Application Date: 2015-07-14
-
Publication No.: CN106575086BPublication Date: 2018-05-18
- Inventor: 松冈尚弥 , 山根茂树
- Applicant: 株式会社村田制作所
- Applicant Address: 日本京都府
- Assignee: 株式会社村田制作所
- Current Assignee: 株式会社村田制作所
- Current Assignee Address: 日本京都府
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 张鑫
- Priority: 2014-158180 2014.08.01 JP
- International Application: PCT/JP2015/070117 2015.07.14
- International Announcement: WO2016/017414 JA 2016.02.04
- Date entered country: 2017-01-20
- Main IPC: G03F7/20
- IPC: G03F7/20 ; B41C1/00 ; H05K3/00

Abstract:
直写型曝光装置(100)通过对由基材(B)保持的膜状的感光性树脂(PP)直接照射曝光光线(1b)来进行图案曝光,包括:输出曝光光线(1b)的光源(1);基台(2);能支承基材(B)的下表面周缘区域,且进行动作使基材(B)在曝光光线(1b)的光轴方向上移位的移位机构(4a~4d);以及能支承基材(B)的下表面中央区域的支承构件(7)。支承构件(7)配设在基台(2)的上方,以利用移位机构(4a~4d)使基材(B)移位,在支承构件(7)的上表面与基材(B)的下表面中央区域抵接的状态下,曝光光线(1b)的光轴与支承构件(7)的上表面垂直。
Public/Granted literature
- CN106575086A 直写型曝光装置 Public/Granted day:2017-04-19
Information query
IPC分类: