一种在6H/4H-SiC硅面上用金属辅助内外碳源结合方式生长石墨烯的方法
摘要:
本发明涉及一种在6H/4H‑SiC硅面上用金属辅助内外碳源结合法生长石墨烯的方法,该方法通过高温加热将SiC晶片表面的Si‑C键部分裂解,然后急剧降温至CVD工艺的生长温度,通过金属通道引入外部碳源并在SiC表面继续生长石墨烯,利用SiC内部碳源和外部气体碳源的协同作用制备大尺寸高品质石墨烯单晶。不仅可以避免CVD方法转移过程中对石墨烯的破坏而且减弱了衬底缓冲层的影响,能够得到质量更好的石墨烯。
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