一种发光二极管芯片及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种发光二极管芯片及其制造方法,属于半导体技术领域。发光二极管芯片包括衬底、以及依次层叠在衬底上的n型Ⅲ族氮化物半导体层、有源层、p型Ⅲ族氮化物半导体层、电流扩展层、绝缘钝化层,p型Ⅲ族氮化物半导体层上设有延伸至n型Ⅲ族氮化物半导体层的凹槽,第一电极设置在n型Ⅲ族氮化物半导体层上,第二电极设置在电流扩展层上,发光二极管芯片还包括设置在衬底和n型Ⅲ族氮化物半导体层之间的光提取增强层,光提取增强层包括呈阵列分布的多个曲面结构,曲面结构与衬底一起形成中空结构,衬底、曲面结构、以及中空结构内的物质均是透明的。本发明提高了LED芯片的外量子效率。
公开/授权文献
0/0