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发明公开
CN106449502A 用于容纳背侧气体的具有静电流体密封的静电卡盘 无效 - 撤回

  • 专利标题： 用于容纳背侧气体的具有静电流体密封的静电卡盘
  • 专利标题（英）： ELECTROSTATIC CHUCK WITH ELECTROSTATIC FLUID SEAL FOR CONTAINING BACKSIDE GAS
  • 申请号： CN201610613168.9
    申请日： 2016-07-29
  • 公开(公告)号： CN106449502A
    公开(公告)日： 2017-02-22
  • 发明人: 王作乾 , J·M·怀特
  • 申请人： 应用材料公司
  • 申请人地址： 美国加利福尼亚州
  • 专利权人： 应用材料公司
  • 当前专利权人： 应用材料公司
  • 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
  • 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
  • 代理商 黄嵩泉
  • 优先权： 14/824,170 2015.08.12 US
  • 主分类号： H01L21/683
  • IPC分类号： H01L21/683
用于容纳背侧气体的具有静电流体密封的静电卡盘
摘要：
在一个实施例中，提供一种静电卡盘，并且所述静电卡盘包括：背衬基板；以及圆盘基板，所述圆盘基板设置在所述背衬基板上，所述圆盘基板包括由外围卡紧模块包围的多个中心卡紧模块，所述外围卡紧模块具有第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极平行于彼此并基本上平行于所述圆盘基板的侧。
摘要（英）：

In one embodiment, an electrostatic chuck is provided and includes a backing substrate, and a puck substrate disposed on the backing substrate, the puck substrate comprising a plurality of central chucking modules surrounded by a perimeter chucking module, the perimeter chucking module having a first electrode and a second electrode that are parallel to each other and substantially parallel to sides of the puck substrate.

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