一种晶圆撕金去胶清洗装置
摘要:
本发明涉及一种晶圆加工设备,具体地说是一种晶圆撕金去胶清洗装置,包括浸泡单元、对中盒站单元、去胶单元、清洗单元、机器人和工作台,机器人设置于工作台中部,各个单元环设于所述机器人周围,设置于机器人同一侧的去胶单元和清洗单元叠放设置,晶圆通过机器人依次送至各个单元中;去胶单元包括去胶腔体、去胶臂、去胶夹持托盘和去胶臂移动机构,去胶夹持托盘设置于去胶腔体中,去胶臂安装在去胶臂移动机构上,去胶臂上装有高压去胶药液喷嘴和常压去胶药液喷嘴,在去胶腔体内设有金属回收管路和去胶液回收管路,去胶腔体外侧设有排风接口。本发明实现了晶圆的全自动撕金去胶,能减少光刻胶、金属残留,提高金属回收效率,节约企业成本。
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