发明公开
CN106373898A 半导体器件及其封装方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 半导体器件及其封装方法
- 专利标题(英): Semiconductor devices and packaging methods thereof
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申请号: CN201610551216.6申请日: 2016-07-13
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公开(公告)号: CN106373898A公开(公告)日: 2017-02-01
- 发明人: 林士庭 , 卢思维 , 林俊成
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹
- 代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理商 章社杲; 李伟
- 优先权: 14/803,211 2015.07.20 US
- 主分类号: H01L21/56
- IPC分类号: H01L21/56 ; H01L23/31 ; H01L25/07
摘要:
本发明公开了封装的半导体器件及其封装方法。在一些实施例中,封装半导体器件的方法包括将第一衬底封装至膜。将膜的第一部分附接至第一衬底的第一区域并且将膜的第二部分附接至第一衬底的第二区域。方法还包括将膜的第一部分与膜的第二部分分离。
IPC分类: