发明授权
- 专利标题: 一次成型螺线管线圈微型磁通门的制备方法
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申请号: CN201610774690.5申请日: 2016-08-31
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公开(公告)号: CN106291405B公开(公告)日: 2020-11-24
- 发明人: 侯晓伟 , 顾杰斌 , 刘冰杰 , 倪大成 , 王飞 , 郑良广 , 陈竹健
- 申请人: 宁波中车时代传感技术有限公司 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 浙江省宁波市甬江工业园区振甬路138号
- 专利权人: 宁波中车时代传感技术有限公司,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 宁波中车时代传感技术有限公司,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市甬江工业园区振甬路138号
- 代理机构: 宁波诚源专利事务所有限公司
- 代理商 张一平; 王莹
- 主分类号: G01R33/00
- IPC分类号: G01R33/00 ; G01R33/04
摘要:
本发明涉及一种一次成型螺线管线圈微型磁通门的制备方法,即分别在两个高阻硅片上进行刻蚀处理,以使得两个高阻硅片键合后能够形成铁芯腔和多个围绕在铁芯腔外周的螺线管腔,并且螺线管腔在至少一个高阻硅片上形成有填充口。两个高阻硅片键合前,在铁芯腔对应在两个高阻硅片上的刻蚀槽内沉积铁芯层,两个高阻硅片键合后,自填充口向螺线管腔内填充线圈材料,从而在螺线管腔中形成螺线管线圈;然后在所述填充口上覆盖保护层并在保护层上开设通至所述螺线管线圈的电极窗口。本发明使用两个高阻硅片键合的方式制备微型磁通门,提高了制备成品率,减少了电镀工艺的毒害性。还可以方便调整铁芯腔的制备厚度,进而使得铁芯层的厚度不受制备工艺的限制。
公开/授权文献
- CN106291405A 一次成型螺线管线圈微型磁通门的制备方法 公开/授权日:2017-01-04