Invention Publication
- Patent Title: MEMS双层悬浮微结构的制作方法和MEMS红外探测器
- Patent Title (English): MEMS double-layer suspending microstructure production method and MEMS infrared detector
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Application No.: CN201510244071.0Application Date: 2015-05-13
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Publication No.: CN106276776APublication Date: 2017-01-04
- Inventor: 荆二荣
- Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司
- Applicant Address: 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
- Assignee: 无锡华润上华半导体有限公司
- Current Assignee: 无锡华润上华科技有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
- Agency: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- Agent 邓云鹏
- Main IPC: B81C1/00
- IPC: B81C1/00 ; B81B3/00 ; G01J5/20

Abstract:
一种MEMS双层悬浮微结构的制作方法,可以制作出具有双层的悬浮微结构,用该双层悬浮微结构(具备第一膜体和第二膜体的悬浮微结构)制作的红外探测器,由于第二膜体不需要制作悬臂梁,所以第二膜体可以制作得比第一膜体大,因而可以比单层悬浮微结构的红外探测器拥有更大的悬浮吸收区域,从而具备较高的红外响应率。此外,还公开一种MEMS红外探测器。
Public/Granted literature
- CN106276776B MEMS双层悬浮微结构的制作方法和MEMS红外探测器 Public/Granted day:2019-03-15
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