MEMS双层悬浮微结构的制作方法和MEMS红外探测器
Abstract:
一种MEMS双层悬浮微结构的制作方法,可以制作出具有双层的悬浮微结构,用该双层悬浮微结构(具备第一膜体和第二膜体的悬浮微结构)制作的红外探测器,由于第二膜体不需要制作悬臂梁,所以第二膜体可以制作得比第一膜体大,因而可以比单层悬浮微结构的红外探测器拥有更大的悬浮吸收区域,从而具备较高的红外响应率。此外,还公开一种MEMS红外探测器。
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